电子半导体废水的种类和来源
点击率:1060 发布时间:2022-08-24
电子半导体作为我国迅速发展的生产行业,半导体工业主要应用于电子机械制造业,当前半导体工业生产废水主要有三种类型,即含氟废水、含铜废水和含氨废水,由于其水质复杂,污染物含量高,对环境造成的影响较大,加强半导体工业生产废水处理是企业急需解决的环保难题。今天小编主要介绍电子半导体废水的种类和来源。
1、电子半导体废水的种类
由于半导体公司的产品不同,各公司生产过程中产生的废水种类都不一样,各公司对产生的废水来源不一样所进行的分类也不一样。总的来水,半导体行业的废水可以分为含氟废水、含磷废水、有机废水、研磨废水、氨氮废水和酸碱废水。
2、电子半导体废水的来源
含氟废水主要来源于来自于自芯片制造过程中的扩散工序及化学机械研磨工序,在对硅片及相关器皿的清洗过程中也多次用到氢氟酸。对粘膜、上呼吸道、眼睛、皮肤组织有极强的破坏作用。污染物主要为氟离子。含磷废水主要来源于生产工程中的铝刻蚀液。有机废水,由于生产工艺的不同,有机溶剂的使用量对于半导体行业而言具有很大的差距。但是作为清洗剂,有机溶剂仍然普遍使用在制造封装的各个环节上。部分溶剂则成为有机废水排放,有机废水主要来源于IPA溶剂、显影液、TO刻蚀液、酸洗塔酸碱废水、酸洗塔有机废水。
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